Para escribir superíndices en LaTeX usamos el signo ^, por ejemplo, si escribirnos x^e, obtenemos: 
Ejemplos:
x^y: 
3^2: 
Cuando se tiene más de un superíndice podemos utilizar las llaves, por ejemplo, al escribir x^{ij}, obtenemos:
Ejemplos:
x^{2y}: 
x^{\frac{1}{5}y}: 
También, es posible anidar los superíndices, cuando escribimos x^{i^{j}}, el resultado será:
Ejemplos:
x^{e^{y}}: 
2^{2^{x}}: 